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    溫度測(cè)量

    黑體爐

    按照提供的溫度范圍分為低溫黑體爐,中溫黑體爐,高溫黑體爐。

    低溫黑體爐可提供低于環(huán)境溫度的穩(wěn)定溫度,包括采用外部制冷機(jī)利用液體循環(huán)制冷的腔式黑體爐以及采用熱電致冷的面源黑體爐。通??商峁┑纳舷逌囟炔怀^(guò)150℃。

    中溫黑體爐采用電阻加熱方式提供高于環(huán)境溫度的穩(wěn)定溫度,加熱元件通常為硅碳棒或硅鉬棒,面源的下限溫度通常高于環(huán)溫5℃以上,腔源的下限溫度通常為50℃。對(duì)于面源黑體需要考慮到靶面的不均勻性,實(shí)際上限不超過(guò)600℃;對(duì)于腔源,考慮到熱偶標(biāo)準(zhǔn)器的檢測(cè)能力上限溫度不超過(guò)1700℃。

    高溫黑體爐多指1700℃以上的黑體爐,腔體為石墨材料,考慮到石墨材料易氧化、升華,通常黑體爐需配備水源和氣源。高溫黑體爐可提供3000℃甚或以上的高溫,但高溫情況下腔體的壽命會(huì)受到一定影響。



    低溫黑體爐

    中溫黑體爐

    高溫黑體爐

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