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                溫度測(cè)量
                
    Aixtron MOCVD 紅外測(cè)溫系統(tǒng)
    
            
    
            
    
                
    
                    
    Aixtron G3和G4設(shè)備上采用了光導(dǎo)管紅外測(cè)溫系統(tǒng)，工作波段1550nm，溫度范圍100-1700℃。系統(tǒng)由光導(dǎo)管，光纖，傳感器，數(shù)字模塊、模擬模塊等備件構(gòu)成。
                        
                
    
            
    
            
        
    
    
    

    

    





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