溫度測(cè)量
BASF Exactus?系列紅外測(cè)溫儀在外延設(shè)備、高溫退火爐、高溫氧化爐等半導(dǎo)體設(shè)備上有著廣泛的應(yīng)用，意法半導(dǎo)體，AIXTRON、北方微電子，浙江晶盛機(jī)電都是BASF公司的客戶。
BASF Exactus?系列紅外測(cè)溫儀根據(jù)鏡頭的不同有PY、FP、LP、FL、。其中PY、FP為通用的鏡頭，LP、FL為光管。
BASF Exactus?系列紅外測(cè)溫儀測(cè)溫精度±1.5℃或0.15%，重復(fù)精度達(dá)到0.1℃。其傳感器EI110（單色測(cè)溫）或者ED110（雙色測(cè)溫）可探測(cè)的光電流范圍為10-15 ~ 10-3 A, 具有極高的信噪比，可測(cè)量的溫度范圍下限可至25℃，上限可超4000℃；
BASF Exactus?系列EI110傳感器包括硅Si探測(cè)器，InGaAs探測(cè)器，以及其用于測(cè)量硅晶圓的專利探測(cè)器，共涉及8個(gè)波段。用戶可根據(jù)應(yīng)用及溫度范圍進(jìn)行訂制。
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EX-S-3FP
BASF Exactus? EX-S-3FP高溫計(jì)主要用于類LPE公司SIC外延設(shè)備的控溫系統(tǒng),常見(jiàn)測(cè)溫范圍130-2200℃，精度高達(dá)1.5℃, 重復(fù)性0.1℃。 -
EX-C-7FL
BASF Exactus? EX-C-7FL紅外測(cè)溫儀測(cè)溫范圍覆蓋100-1800℃，精度高達(dá)1.5℃, 重復(fù)性0.1℃。適配AIXTON G3, AIXTRON G4， AIXTRON G5的MOCVD的Bottom測(cè)溫系統(tǒng)。 -
EX-S-2PY
BASF Exactus? EX-S-2PY紅外測(cè)溫儀主要用于硅晶圓的外延生長(zhǎng)研究，也常被用作高溫黑體爐的標(biāo)準(zhǔn)器，其測(cè)溫精度高達(dá)1.5℃, 重復(fù)性0.1℃。 -
EX-S-7PY
BASF Exactus? EX-S-7PY紅外測(cè)溫儀主要用于SIC或其他晶圓的高溫氧化、退火及RTP工藝，常用測(cè)溫范圍250-2600℃，精度高達(dá)1.5℃, 重復(fù)性0.1℃。 -
EX-S-DPY
BASF Exactus? EX-S-DPY雙色紅外測(cè)溫儀測(cè)溫范圍覆蓋380-3000℃，精度高達(dá)1.5℃, 重復(fù)性0.1℃。該型號(hào)測(cè)溫儀采用雙色測(cè)溫原理，溫度測(cè)量在很大程度上不受物體的發(fā)射率的影響. -
EX-ET-222
BASF Exactus? EX-ET-222光管型紅外測(cè)溫儀測(cè)溫范圍覆蓋250-1300℃，精度高達(dá)1.5℃, 重復(fù)性0.1℃。可適配AMAT RTP等測(cè)溫系統(tǒng)。